SmartSATシリーズ3号機 『SmartSAT Next』を開発
SmartSAT Nextにて人工欠陥を加工したSUS板の検査動画です。
W92mm X H25mm X D3.2mmのSUS板に下記の人工欠陥加工をしております。
- W5mm X H16mmのキー溝を4つ
- φ0.4mmとφ1.2mmの平底穴をそれぞれ4つ
- 表面深度はそれぞれ[380μ / 500μ / 630μ / 760μ]です。
いずれも表面直下1mm以下にあり、また非常に微細なため、分解能が高い検査装置でないと検出できない欠陥です。従来機よりも更に分解能が向上したSmartSAT Nextでは、これらの深度の違う欠陥を1度の検査で検出します。
左の動画にて検出したデータをSmart Surround Viewを用いて解析を行う動画です。380μ / 500μ / 630μ / 760μのキー溝をそれぞれ高さの違いが分かるように検出できております。実寸では130μほどの差しかありませんため、人の目に見て分かりやすいように深さ方向の係数は実寸より大きく設定しております。
SmartSAT Nextにて雑誌付属基板のICをスキャンした動画です。
(不良品としてメーカー様から譲り受けたものではありません。)
W15mm X H16mmの範囲を10μのピッチでスキャンしています。美麗なデータを取得したかったため、速度を落としています。X100mmストロークでの最高速度250mm/s程です。2つのゲートを設けて、左側はリードフレームの範囲を右側はチップ下部を可視化しています。
更に分解能が向上したSmartSAT Nextでは、ワイヤボンディングまで鮮明に可視化しています。
左の動画にて検出したデータをSmart Range(色域拡張)とSmart Surround Viewを用いて解析を行う動画です。
Smart Rangeでは、1度の検査で取得したデータを用いて、ワイヤボンディング下部のボイドとリードフレーム部の剥離をそれぞれ鮮明な解析ができる2パターンの可視化を行っております。
Smart Surround Viewでは、2つの階層をそれぞれ3次元展開を行うことで、よりICの内部構造を鮮明に確認できます。
SmartSAT Nextにて円筒形状ワークの周方向人工欠陥の検査・解析動画です。
アルミ円筒形状サンプルの表面から11mmの深さにJASEの文字とφ1, 5, 4, 3, 2mmの人工欠陥を加工しております。これを超音波を用いて検出します。
円筒形状の内面に加工する関係で、欠陥加工面がテーパー形状になっており、表面からの深度が取得データに影響が出るぐらい変化しております。
従来の超音波検査では、閾値を用いた自動判定が困難であった検出データですが、SmartSAT Nextの最先端の信号処理技術を用いれば、このベースレベルの受信エネルギー変化を低減し、均一な評価を可能とします。
従来の装置であれば、円筒形状サンプルの検査は、水槽下部にローター機構を持つ大掛かりな検査装置が必要になりますが、SmartSAT Nextはこれを簡単にテーブルの上で可能にします。