超音波検査システム SmartSAT

超音波検査システム

パワーモジュール1
パワーモジュール2

新製品 「テーブルトップ超音波解析装置 SmartSAT CT」によるパワーモジュールの全波形取込の検査動画です。
SmartSAT CTでは、Aスコープ波形のリアルタイム表示をしながらデータ取得が可能です。これによりデータが正常に取得できない不具合やワークの設置不備などの確認が容易に行えます。

新製品 「テーブルトップ超音波解析装置 SmartSAT CT」によるパワーモジュールのMulti-Layer Imaging解析動画です。
2Gsps/12bit高速AD変換による全波形取込を用いて、業界初となるXYZ矢視のCT解析に対応します。
従来波形解析が困難であった薄層・服装構造の検体であっても、複雑で煩雑なゲート調整は必要ありません。
検体表面から検体底面まで全ての領域をサンプリングして、詳細な階層確認が可能です。

Miniature Resolution Block(人工欠陥加工ブロック)

SmartSAT Nextにて人工疑似欠陥を加工したSUS板の検査動画です。

W92mm X H25mm X D3.2mmのSUS板に下記の人工欠陥加工をしております。

W5mm X H16mmのキー溝を4つ
φ0.4mmとφ1.2mmの平底穴をそれぞれ4つ
表面深度はそれぞれ[380μ / 500μ / 630μ / 760μ]です。

いずれも表面直下1mm以下にあり、また非常に微細なため、分解能が高い検査装置でないと検出できない欠陥です。従来機よりも更に分解能が向上したSmartSAT Nextでは、これらの深度の違う欠陥を1度の検査で検出します。

上の動画にて検出したデータをSmart Surround Viewを用いて解析を行う動画です。
380μ / 500μ / 630μ / 760μのキー溝をそれぞれ高さの違いが分かるように検出できております。実寸では130μほどの差しかありませんため、人の目に見て分かりやすいように深さ方向の係数は実寸より大きく設定しております。

IC (ColdFire)

SmartSAT Nextにて雑誌付属基板のICをスキャンした動画です。
(不良品としてメーカー様から譲り受けたものではありません。)
W15mm X H16mmの範囲を10μのピッチでスキャンしています。美麗なデータを取得したかったため、速度を落としています。X100mmストロークでの最高速度250mm/s程です。2つのゲートを設けて、左側はリードフレームの範囲を右側はチップ下部を可視化しています。
更に分解能が向上したSmartSAT Nextでは、ワイヤボンディングまで鮮明に可視化しています。

上の動画にて検出したデータをSmart Range(色域拡張)とSmart Surround Viewを用いて解析を行う動画です。

Smart Rangeでは、1度の検査で取得したデータを用いて、ワイヤボンディング下部のボイドとリードフレーム部の剥離をそれぞれ鮮明な解析ができる2パターンの可視化を行っております。

Smart Surround Viewでは、2つの階層をそれぞれ3次元展開を行うことで、よりICの内部構造を鮮明に確認できます。

検査画像 CPU (Intel)
検査画像 10円硬貨